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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)真空探針臺(tái)KT-0904T-R小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)

小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)高溫的變溫測(cè)量環(huán)境,以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。

產(chǎn)品型號(hào):KT-0904T-R
更新時(shí)間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:1926
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品牌鄭科探

小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R

高溫?zé)o氧化測(cè)試:
當(dāng)晶圓加熱至300,400,500甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)
越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤
差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵
抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,探針座位于腔體外部,可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。



小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-RL參數(shù)


真空腔體

類(lèi)型

加熱型350   或者加熱制冷型 室溫到350 室溫到-190

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm

腔體抽氣口

KF16

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體正壓

0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa 5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

樣品臺(tái)尺寸

26X26mm

樣品臺(tái)-視窗 距離

30mm(可選凹視窗間距15mm

樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器

A    級(jí)PT100鉑電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃)

樣品臺(tái)測(cè)溫誤差

±0.2

樣品臺(tái)變溫速率

高溫10/min   低溫5/min  最大值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類(lèi)型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

溫度分辨率

0.1

溫控精度

±0.5

溫度信號(hào)輸入類(lèi)型

PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2

電學(xué)性能

絕緣電阻 4000MΩ     介質(zhì)耐壓 200V    電流噪聲 10pA

探針數(shù)量

4探針(可定做6探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

X軸控制精度

5μm

Y軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

5μm

Z軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

5μm

數(shù)碼顯微鏡

顯微鏡類(lèi)別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡放大倍數(shù)

100

顯微鏡工作間距

50-150mm

相機(jī)分辨率

1080P  60  

相機(jī)信號(hào)輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可調(diào)光源

LED光源

顯示屏

5 屏幕一體機(jī)


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